產(chǎn)品中心
匠心制造 安全高效 節(jié)能低碳
硅烷燃燒水洗塔
在太陽能電池、集成電路等高端制造中，PECVD（等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）等關(guān)鍵工序會(huì)產(chǎn)生硅烷（SiH?）和氨氣（NH?） 等廢氣。其中，硅烷在空氣中會(huì)自燃甚至爆炸，氨氣則具有強(qiáng)刺激性和毒性，存在嚴(yán)重的安全與污染風(fēng)險(xiǎn)，必須采用高效、定制的方案進(jìn)行徹底處理。
針對這類廢氣，天得一研發(fā)了新型的硅烷燃燒水洗塔（Si/O/W），設(shè)備主要包括：燃燒系統(tǒng)、吸收系統(tǒng)、清灰系統(tǒng)等部分，核心原理是高效燃燒+多級吸收，該設(shè)備對廢氣的凈化效率可高達(dá)99.99%。
第一階段：高效燃燒分解
將含有硅烷等可燃成分的廢氣導(dǎo)入燃燒室，硅烷接觸氧氣發(fā)生自然反應(yīng)，生成穩(wěn)定的固態(tài)二氧化硅粉末。同時(shí)，廢氣中可能共存的氫氣、磷烷等也一并被氧化。
第二階段：多級洗滌吸收
燃燒后的高溫氣體（含SiO?粉塵、氨氣等）立即進(jìn)入多級水洗洗滌塔。廢氣與循環(huán)液充分逆流接觸，實(shí)現(xiàn)冷卻、除塵、中和、吸收四重深度凈化。
1. 安全性高：采用自動(dòng)化控制，進(jìn)行溫度、壓力監(jiān)控，采用氮?dú)獗Ｗo(hù)和泄爆裝置，確保設(shè)備安全穩(wěn)定運(yùn)行；
2. 超高凈化效率：根據(jù)廢氣特性定制設(shè)備功能，采用高效燃燒+多級吸收的協(xié)同設(shè)計(jì)，凈化效率可高達(dá)99.99%；
3. 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)精巧：流程化布局燃燒室、均壓室、氮?dú)獗Ｗo(hù)室及多級洗滌室，結(jié)構(gòu)緊湊，氣流通暢，實(shí)現(xiàn)處理效率最大化；
4. 節(jié)能低碳運(yùn)行：利用硅烷自燃熱值，不需要外加燃料，且電耗極低，符合綠色低碳的運(yùn)營目標(biāo)；
5. 智控孿生賦能：融合數(shù)字孿生與集中智制優(yōu)勢，通過感知矩陣、多維交互、場景化智控等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)設(shè)備全生命周期深度賦能。
|
序號 |
型號 |
高度 |
直徑 |
處理效率 |
|
1 |
TDY-OWS-1 |
1980mm |
300mm |
99.99% |
|
2 |
TDY-OWS-2 |
2000mm |
400mm |
99.99% |
|
3 |
TDY-OWS-3 |
2300mm |
600mm |
99.99% |
|
4 |
TDY-OWS-4 |
2300mm |
800mm |
99.99% |
適用于太陽能電池、集成電路等高端制造中，PECVD（等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）等關(guān)鍵工序會(huì)產(chǎn)生硅烷（SiH?）和氨氣（NH?） 等廢氣治理。
