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在半導體與光伏生產的擴散（Diffusion）、化學氣相沉積（PECVD/MOCVD）、刻蝕（Etch）、外延（EPI）等關鍵工序中，會產生H2、SIH4、HCL、TEOS、CO、CH4、C2H6、SiCl?等多種易燃易爆廢氣，必須進行高效、穩定的處理。

針對廢氣的特點，天得一研發電熱水洗設備（Heat Wet Scrubber）進行廢氣處理。電熱水洗設備是傳統濕式洗滌技術的一種高級演進，專為處理常溫下難溶、易結晶或需要特定溫度條件才能高效反應的半導體特氣而設計。該設備核心原理是先通過電加熱高溫裂解燃燒廢氣，然后再通過高效水洗的方式對燃燒產生的尾氣進行深度處理，使其達到國家排放標準。電熱水洗設備常用于去除1000℃溫度內可分解特氣成分，對廢氣的凈化效率可高達99.9%。

1. 安全穩定：采用自動化控制，進行溫度、壓力、流量、液位等監測，聯動擴撒、調溫、降溫、報警、停機等多重安全聯鎖，確保全程受控；
2. 高效凈化：針對不同特氣定制化設計，凈化效率可高達99.9%；
3. 旋流緩沖：設備增加旋流緩沖，過渡溫降，防止粉塵堆積；
4. 耐腐蝕：采用強化防腐設計，具有優良的耐腐蝕性能；
5. 智控孿生賦能：融合數字孿生與集中智制優勢，通過感知矩陣、多維交互、場景化智控等技術，實現設備全生命周期深度賦能。

適用于半導體與光伏生產的擴散（Diffusion）、化學氣相沉積（PECVD/MOCVD）、刻蝕（Etch）、外延（EPI）等關鍵工序中，產生H2、SIH4、HCL、TEOS、CO、CH4、C2H6、SiCl?等多種易燃易爆廢氣治理。