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天得一采用自研的干式吸附設(shè)備（Dry Scrubber），內(nèi)裝我司研制生產(chǎn)的高效吸附劑，吸附劑的種類根據(jù)廢氣的成分定制化設(shè)計。主要用于處理Cl?、HCl、HF、PH?、SiF?、NH?、AsH?等氣體，該設(shè)備對廢氣的凈化效率可高達99.9%，干式吸附設(shè)備（Dry Scrubber）利用天得一專研的吸附劑凈化廢氣中的有害成分，生成穩(wěn)定的固態(tài)化合物并被牢牢固定在吸附劑內(nèi)部。

1. 工藝安全性高：全干式、無廢水、無明火工藝，從根本上杜絕了危險氣體與水接觸或燃燒的風險；
2. 程序安全性高：采用自動化控制，進行溫度、出入口壓力、濃度監(jiān)測，聯(lián)動擴撒、降溫、報警、停機等多重安全聯(lián)鎖，確保全程受控；
3. 定制化高效凈化：針對不同特氣定制化設(shè)計吸附劑，凈化效率可高達99.9%；
4. 節(jié)能低碳運行：設(shè)備運行不消耗水，且電耗極低，符合綠色低碳的運營目標；
5. 耐腐蝕：采用強化防腐設(shè)計，具有優(yōu)良的耐腐蝕性能；
6. 智控孿生賦能：融合數(shù)字孿生與集中智制優(yōu)勢，通過感知矩陣、多維交互、場景化智控等技術(shù)，實現(xiàn)設(shè)備全生命周期深度賦能；
7. 全生命周期成本最優(yōu)：采用天得一研制的吸附劑，高效、使用壽命長，在保證性能的同時顯著降低耗材更換頻率與綜合成本。

適用于Semi、FPD、Solar、LED、實驗室等生產(chǎn)中IMP、Etch、MOCVD、CVD等工序產(chǎn)生的廢氣治理。