在半導(dǎo)體晶圓制造、碳化硅外延、先進(jìn)封裝等核心生產(chǎn)環(huán)節(jié)，刻蝕工藝產(chǎn)生的HF、HCl、HBr、Cl?等酸性廢氣具有腐蝕性強(qiáng)、成分復(fù)雜、排放要求高等特點(diǎn)，是影響車(chē)間安全、設(shè)備壽命及環(huán)保達(dá)標(biāo)率的關(guān)鍵因素。如何實(shí)現(xiàn)刻蝕酸性廢氣穩(wěn)定處理、長(zhǎng)期達(dá)標(biāo)、安全運(yùn)行，已成為半導(dǎo)體企業(yè)高度關(guān)注的核心問(wèn)題。
天得一深耕工業(yè)廢氣治理領(lǐng)域，針對(duì)半導(dǎo)體刻蝕工況特點(diǎn)，打造專(zhuān)業(yè)、高效、適配性強(qiáng)的酸性廢氣治理解決方案，并成功落地天域半導(dǎo)體等行業(yè)標(biāo)桿項(xiàng)目，以技術(shù)實(shí)力與項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn)為半導(dǎo)體企業(yè)提供可靠保障。
一、刻蝕酸性廢氣治理核心痛點(diǎn)
- 腐蝕性極強(qiáng)：酸氣對(duì)設(shè)備、管路、風(fēng)機(jī)等系統(tǒng)侵蝕性強(qiáng)，普通設(shè)備易老化、漏液、損壞。
- 成分復(fù)雜波動(dòng)：氟、氯、溴系酸性氣體混合存在，常規(guī)處理工藝難以穩(wěn)定去除。
- 生產(chǎn)連續(xù)性要求高：需滿足 24 小時(shí)不間斷運(yùn)行，設(shè)備不能宕機(jī)、不影響機(jī)臺(tái)負(fù)壓環(huán)境。
- 環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)苛：需同步滿足環(huán)評(píng)驗(yàn)收、客戶驗(yàn)廠、園區(qū)在線監(jiān)測(cè)等多重達(dá)標(biāo)要求。
二、天得一刻蝕酸性廢氣治理解決方案
天得一結(jié)合半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)規(guī)范與廢氣特性，采用多級(jí)逆流洗滌 + 精準(zhǔn) pH 自動(dòng)控制 + 深度除霧 + 全防腐系統(tǒng)工藝，實(shí)現(xiàn)高效凈化與穩(wěn)定運(yùn)行：
- 預(yù)處理降溫除塵：快速降低廢氣溫度、去除粉塵顆粒，保護(hù)后端核心處理單元。
- 多級(jí)酸堿洗滌：針對(duì)性分解 HF、HCl、HBr、Cl?等酸性氣體，提升凈化效率與穩(wěn)定性。
- 智能自動(dòng)控制：全自動(dòng)加藥系統(tǒng)與 pH 閉環(huán)控制，運(yùn)行穩(wěn)定、降低人工干預(yù)與耗材浪費(fèi)。
- 深度除霧防腐：杜絕氣體帶液、異味外溢，整機(jī)采用防腐材質(zhì)，適配長(zhǎng)期連續(xù)生產(chǎn)。
- 可兼容 Local Scrubber：支持機(jī)臺(tái)端治理與中央廢氣處理系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)，提升整體安全與處理效果。
方案具備凈化效率高、運(yùn)行穩(wěn)定、防腐耐用、維護(hù)簡(jiǎn)便、能耗低等優(yōu)勢(shì)，可廣泛適配晶圓制造、刻蝕、薄膜沉積、封裝測(cè)試等場(chǎng)景。
三、標(biāo)桿項(xiàng)目案例：天域半導(dǎo)體酸性廢氣治理
天域半導(dǎo)體作為國(guó)內(nèi)碳化硅襯底與外延片領(lǐng)域頭部企業(yè)，對(duì)廢氣處理系統(tǒng)的安全性、穩(wěn)定性、達(dá)標(biāo)率要求嚴(yán)苛。
天得一根據(jù)項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)工況，量身定制刻蝕酸性廢氣綜合治理系統(tǒng)，高效處理 HF、HCl 等復(fù)雜酸性廢氣，項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)：
- 廢氣排放穩(wěn)定達(dá)標(biāo)，順利通過(guò)環(huán)評(píng)及客戶驗(yàn)廠；
- 系統(tǒng)可 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行，無(wú)腐蝕、無(wú)堵塞、無(wú)宕機(jī)；
- 運(yùn)行安全可靠、維護(hù)成本低，獲得客戶高度認(rèn)可，成為泛半導(dǎo)體領(lǐng)域酸性廢氣治理示范項(xiàng)目。
四、天得一核心優(yōu)勢(shì)
- 行業(yè)經(jīng)驗(yàn)豐富：專(zhuān)注半導(dǎo)體廢氣治理，覆蓋刻蝕、硅烷、薄膜沉積、晶圓制程、Local Scrubber 等全場(chǎng)景。
- 資質(zhì)體系齊全：具備環(huán)保工程專(zhuān)業(yè)資質(zhì)，提供方案設(shè)計(jì)、設(shè)備制造、安裝調(diào)試、驗(yàn)收運(yùn)維一站式服務(wù)。
- 項(xiàng)目案例可查：成功服務(wù)天域半導(dǎo)體等多家半導(dǎo)體企業(yè)，方案成熟、可復(fù)制、可落地。
- 深度適配制程：不做通用設(shè)備，專(zhuān)注半導(dǎo)體制程特點(diǎn)，提供定制化治理方案。
- 全周期服務(wù)：從前期勘測(cè)、方案設(shè)計(jì)到安裝調(diào)試、售后維護(hù)，全程保障項(xiàng)目穩(wěn)定運(yùn)行。
結(jié)語(yǔ)
刻蝕酸性廢氣治理直接關(guān)系半導(dǎo)體企業(yè)安全生產(chǎn)、環(huán)保合規(guī)、穩(wěn)定生產(chǎn)。天得一以成熟技術(shù)、優(yōu)質(zhì)設(shè)備、標(biāo)桿案例與全流程服務(wù)，為半導(dǎo)體行業(yè)提供高效、穩(wěn)定、可靠的酸性廢氣治理解決方案，助力企業(yè)實(shí)現(xiàn)環(huán)保達(dá)標(biāo)與長(zhǎng)效運(yùn)營(yíng)。
如需了解刻蝕酸性廢氣治理、Local Scrubber 配套、半導(dǎo)體全制程廢氣治理等方案，歡迎咨詢交流，天得一將為您提供定制化技術(shù)支持與項(xiàng)目落地服務(wù)。
